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靜電對(duì)直流高壓發(fā)生器等儀器的損害與防治
靜電對(duì)直流高壓發(fā)生器等儀器的損害與防治
靜電作為一種普遍的物理現(xiàn)象是客觀存在的，靜電的作用力、放電和感應(yīng)現(xiàn)象引起的危害是十分嚴(yán)重的。電子行業(yè)如微電子、光電子的制造和使用廠商因?yàn)殪o電造成的損失和危害是相當(dāng)嚴(yán)重的。據(jù)美國(guó)統(tǒng)計(jì)，它們的電子行業(yè)，每年因靜電危害造成損失高達(dá)100多億美元；英國(guó)電子產(chǎn)品每年因靜電造成的損失為20億英鎊；據(jù)日本統(tǒng)計(jì)，它們不合格的電子器件中有45％是由于靜電而引起的；我國(guó)每年因靜電危害造成的損失也至少有幾千萬(wàn)。因此直流高壓發(fā)生器等測(cè)量?jī)x器的研制和生產(chǎn)過(guò)程中，必須做好防靜電工作，盡量避免減少靜電損傷造成的財(cái)產(chǎn)損失。
靜電放電（ESD）對(duì)電子元器件的危害還表現(xiàn)在它的潛在性。即器件在受到ESD應(yīng)力后并不馬上失效，而會(huì)在使用過(guò)程中逐漸退化或突然失效。這時(shí)的器件是“帶傷工作”。
這是人們對(duì)靜電危害認(rèn)識(shí)不夠的一個(gè)主要原因。實(shí)際上，靜電放電對(duì)元器件損傷的潛在性和累積效應(yīng)會(huì)嚴(yán)重地影響元器件的使用可靠性。
由于潛在損傷的器件無(wú)法鑒別和剔除，一旦在上機(jī)應(yīng)用時(shí)失效，造成電子測(cè)量?jī)x器防靜電控制的損失就更大。而避免或減少這種損失的*好辦法就是采取靜電防護(hù)措施，使元器件避免靜電放電的危害。這充分說(shuō)明了ESD潛在損傷對(duì)器件可靠性的影響。
2.靜電損傷原因分析靜電對(duì)電子產(chǎn)品的損害有多種形式，并具有不同的特點(diǎn)。
2.1靜電損害的形式靜電的基本物理特性為：吸引或排斥，與大地有電位差，會(huì)產(chǎn)生放電電流。這三種特性能對(duì)電子元器件的三種影響：（1）靜電吸附灰塵，降低元器件絕緣電阻。
（2）ESD破壞，造成電子。
（3）ESD產(chǎn)生的電磁場(chǎng)幅度很大（達(dá)幾百伏／米）頻譜極寬（從幾十兆到幾千兆），對(duì)電子產(chǎn)器造成干擾甚至損壞。
這三種形式對(duì)元器件造成的損傷，既可能是長(zhǎng)久性的，也可能是暫時(shí)性的；既可能是突發(fā)失效，也可能是潛在失效。其中靜電放電事件是造成元器件損傷*常見(jiàn)和*主要的原因。
2.2靜電損害的特點(diǎn)相對(duì)與其它應(yīng)力，靜電對(duì)電子產(chǎn)品損害存在以下一些特點(diǎn)（1）隱蔽性人體不能直接感知靜電除非發(fā)生靜電放電，但即使發(fā)生了靜電放電人體也不一定能有電擊的感覺(jué)，這是因?yàn)槿梭w感知的靜電放電電壓為2－3KV，所以靜電具有隱蔽性，所以說(shuō)靜電的損傷是在人們不知不覺(jué)的過(guò)程中發(fā)生的。
（2）潛在性和累積性有些電子元器件受到靜電損傷后的性能沒(méi)有明顯的下降，在器件在受靜電損傷以后，并不是不能用，而是特性有所下降，人們并不是當(dāng)時(shí)就能發(fā)現(xiàn)，但已經(jīng)造成了潛在的失效隱患，在將來(lái)某種特定的條件下，*終會(huì)導(dǎo)致器件失效。如器件氧化層出現(xiàn)―個(gè)孔，設(shè)備長(zhǎng)時(shí)間工作后，金屬化電遷移引起短路燒毀，從而導(dǎo)致設(shè)備故障。這種類型的靜電損傷，將會(huì)大大的縮短元器件的產(chǎn)品解決方案?jìng)魉团c運(yùn)輸?shù)倪^(guò)程。在這整個(gè)過(guò)程中，不但包裝因移動(dòng)容易產(chǎn)生靜電外，而且整個(gè)包裝容易暴露在外界電場(chǎng)（如經(jīng)過(guò)高壓設(shè)備附近，工人移動(dòng)頻繁、車輛迅速移動(dòng)等）而受到破壞，所以傳送與運(yùn)輸過(guò)程需要特別注意以減少損失，避免無(wú)謂之糾紛。所以，直流高壓發(fā)生器等儀器從元器件的制造，使用到維修的任一環(huán)節(jié)都有可能發(fā)生靜電損害。
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